新乡经开区“科之诚”荣获科技部“全国颠覆性技术创新大赛总决赛最高奖”

什么是颠覆性技术？颠覆性技术是“可改变游戏规则”的前沿技术，具有另辟蹊径改变技术轨道的演化曲线和颠覆现状的变革性效果。

近日，由科技部主办，科技部火炬中心承办的2022年全国颠覆性技术创新大赛总决赛在杭州举行，来自全国各地重点高校、知名科研院所、行业龙头企业等单位的2800多个技术项目报名参赛，最终有157个项目通过陈述答辩形式展开激烈对决。在进入总决赛的157个项目中，位于新乡经开区的河南科之诚第三代半导体碳基芯片有限公司研发的“2Ghz-10GHz金刚石基高频射频滤波器”获得大赛最高奖——优胜奖。优胜项目将推荐进入科技部颠覆性技术备选库。

我们科之诚公司联合中科院电工所，突破了“大面积、高平整度金刚石薄膜沉积”、“氮化铝多元素共掺杂、高平整度C轴择优取向薄膜”等技术难点，在基础材料领域提出了“金刚石+氮化铝的材料体系”和在电路设计方面“全新设计了螺旋结构的IDT换能电路”，推出了高频的金刚石射频滤波器产品，打破了国外在高频滤波器领域的垄断，填补了国内空白。——科之诚公司负责人谢波玮在本次大赛中讲到。

2019年，河南科之诚第三代半导体碳基芯片有限公司在新乡经开区智能制造产业园注册成立，是第三代半导体产业创新联盟在河南的唯一会员企业，公司产品为集成电路芯片，主要应用于无线通信、5G互联网、自动驾驶等行业。同时，公司核心团队由多名博士组成，并与清华大学、北京航空航天大学、中国科学院、北京有色金属研究总院等国内知名高校科研院所及公司保持着密切的技术合作关系。

获奖不是目的，企业重在创新，重在打破国外对该行业的技术壁垒。“我们这两项创新，将实现两个重要价值。一是我们打破国外垄断，实现了高频滤波器的国产替代；二是我们用SAW工艺和成本，实现了BAW滤波器的产品性能，同频saw滤波器约为同频baw滤波器成本10%-20%，因此我们能提供更高性价比的产品，存在巨大的市场价值。”谢波玮说道。

据介绍，目前科之诚该项目已经申请了9项专利、其中发明专利5项，并掌握了2--6英寸硅基金刚石薄膜制备工艺、2--6英寸取向压电薄膜制备工艺和金刚石基射频滤波器芯片的设计、半导体工艺、封装、检测技术，并已经完成全工艺流片验证，这标志着核心技术攻关已经完成。公司近期正在融资推进项目产业化，一期计划建设一条6英寸金刚石CVD+氮化铝PVD晶圆制造生产线，实现金刚石基高频滤波器大规模量产，预计一年出产品。

近年来，新乡经开区稳步推进开发区“三化三制”改革，创新“管委会+公司”的体制机制模式，全面推进“二次创业”，成功入选河南省经济体制改革典型案例库。积极探索“低效用地”盘活利用，被省委改革办在全省通报表扬。加快推进国企改革，区集团公司顺利通过“AA”主体信用评级。大力支持科技创新，规上工业企业研发活动覆盖率达到65%。备案国家级科技型中小企业增至128家，国家级专精特新“小巨人”企业2家，省级“专精特新”企业13家，高新技术企业62家，市级以上创新平台达到110家。完成技术合同登记5.43亿元，同比增长74.5％，增幅居全市第二，连续三年获得省级先进技术合同登记单位。下一步，新乡经开区也将以此为契机，加强与产业研究院、技术研究院的对接，探索在建立更多分院，进一步加快完善产业引导基金，强化基金管理，积极协助企业完成融资，助推企业尽快实现产能落地。